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理想能源研發(fā)的大陸首臺PECVD設備正式投入生產

作者: | 發(fā)布日期: 2011 年 01 月 10 日 13:42 | 分類: 產業(yè)資訊

近日，大陸理想能源設備公司研發(fā)的大陸首臺薄膜太陽能電池關鍵生產設備--等離子體增強型化學氣相沉積設備(PECVD)成功投入生產運作。

該設備采用創(chuàng)新的超高頻射頻技術，精密的真空和溫度控制技術，快速的自動傳輸技術以及多腔多片的反應腔系統(tǒng)等，大大提高了產能。

薄膜太陽能電池生產設備復雜昂貴，尤其是關鍵設備PECVD價格更高達上千萬美元。一直以來，中國企業(yè)的此類設備全需進口，生產設備制造成本之高，佔薄膜太陽能電池發(fā)電成本的七成左右，導致太陽能并網(wǎng)發(fā)電價格比傳統(tǒng)電價高出15%甚至更多，預料這臺設備將使薄膜太陽能電池產業(yè)化進程加速。

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