近日，大陸理想能源設(shè)備公司研發(fā)的大陸首臺薄膜太陽能電池關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備--等離子體增強型化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)成功投入生產(chǎn)運作。

該設(shè)備采用創(chuàng)新的超高頻射頻技術(shù)，精密的真空和溫度控制技術(shù)，快速的自動傳輸技術(shù)以及多腔多片的反應(yīng)腔系統(tǒng)等，大大提高了產(chǎn)能。

薄膜太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備復(fù)雜昂貴，尤其是關(guān)鍵設(shè)備PECVD價格更高達上千萬美元。一直以來，中國企業(yè)的此類設(shè)備全需進口，生產(chǎn)設(shè)備制造成本之高，佔薄膜太陽能電池發(fā)電成本的七成左右，導(dǎo)致太陽能并網(wǎng)發(fā)電價格比傳統(tǒng)電價高出15%甚至更多，預(yù)料這臺設(shè)備將使薄膜太陽能電池產(chǎn)業(yè)化進程加速。