黃河光伏日前表示，公司在單晶硅和多晶硅高效電池技術(shù)研發(fā)方面取得了突破性的進(jìn)展。單晶硅高效電池的研發(fā)，采用氧化鋁背鈍化新工藝，單晶硅電池轉(zhuǎn)換效率達(dá)到了18.95%，多晶硅高效電池的研發(fā)采用RIE工藝，電池平均轉(zhuǎn)換效率比過去提升了0.5%，最高效率達(dá)到17.90%。

氧化鋁背鈍化工藝是采用ALD（原子層沉積）或PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）工藝在硅片背面形成氧化鋁膜層，然后再在該膜的基礎(chǔ)上生長一層氮化矽膜進(jìn)行保護(hù)。通過在背鈍化膜層采用鐳射開孔工藝，結(jié)合背鈍化鋁漿和相匹配的燒結(jié)工藝實(shí)現(xiàn)單晶電池轉(zhuǎn)換效率的提升。多晶矽高效電池的研發(fā)主要攻關(guān)RIE電池技術(shù)。RIE工藝采用在多晶硅片制絨后使用等離子體在硅片表面進(jìn)行轟擊刻蝕，使硅片表面形成納米級(jí)的微小絨面，從而達(dá)到降低硅片表面光反射的目的，該工藝的主要特點(diǎn)是使電池的短路電流（ISC）得到了明顯的提升，增強(qiáng)了多晶矽電池對(duì)光的吸收，提升了電池轉(zhuǎn)換效率。

公司已基本掌握了最新高效電池生產(chǎn)工藝背鈍化和RIE的核心技術(shù)。在后期的新專案建設(shè)中，這些技術(shù)將運(yùn)用到新線體的建設(shè)中。