日本愛發(fā)科(ULVAC)將在中國蘇州建設(shè)太陽能電池和面板用大型制造裝置的生產(chǎn)基地,此為ULVAC首次在中國建設(shè)太能電池制造裝置工廠。
該廠主要生產(chǎn)支持薄膜硅太陽能電池微結(jié)晶硅成膜用的第5.5代底板的PE-CVD裝置「CIM-1400」和支持液晶面板用第8代底板的濺鍍裝置「SMD-2400」等。預(yù)定2012年生產(chǎn)臺數(shù)為10臺,2015年為50臺。
新廠建筑面積最初為3000m2,將設(shè)于愛發(fā)科在蘇州的電子部件和LED制造裝置生產(chǎn)工廠的毗鄰,預(yù)定2011年4月開工,2011年12月竣工。