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日本ULVAC將首次在中國建設(shè)太陽能電池制造裝置廠

作者: | 發(fā)布日期: 2010 年 10 月 19 日 13:47 | 分類: 產(chǎn)業(yè)資訊

日本愛發(fā)科(ULVAC)將在中國蘇州建設(shè)太陽能電池和面板用大型制造裝置的生產(chǎn)基地,此為ULVAC首次在中國建設(shè)太能電池制造裝置工廠。

該廠主要生產(chǎn)支持薄膜硅太陽能電池微結(jié)晶硅成膜用的第5.5代底板的PE-CVD裝置「CIM-1400」和支持液晶面板用第8代底板的濺鍍裝置「SMD-2400」等。預(yù)定2012年生產(chǎn)臺數(shù)為10臺,2015年為50臺。

新廠建筑面積最初為3000m2,將設(shè)于愛發(fā)科在蘇州的電子部件和LED制造裝置生產(chǎn)工廠的毗鄰,預(yù)定2011年4月開工,2011年12月竣工。

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