臺(tái)灣地區(qū)高科技產(chǎn)業(yè)不斷持續(xù)針對(duì)制程的優(yōu)化進(jìn)行投資,太陽能產(chǎn)業(yè)亦是如此;然而,許多精進(jìn)制程在提高生產(chǎn)效率的同時(shí),對(duì)于廢氣處理設(shè)備之供應(yīng)商也帶來了新的挑戰(zhàn)。為因應(yīng)相關(guān)挑戰(zhàn),臺(tái)灣達(dá)思公司特別推出UPTIMUM,此設(shè)備專為在使用端(point-of-use)達(dá)到高效率廢氣處理而設(shè)計(jì),在化學(xué)氣相沉積(CVD)制程中,可達(dá)到最高每分鐘500公升(slm)的廢氣處理效率。
此款廢氣處理設(shè)備是首次售予臺(tái)灣的太陽能電池制造商。太陽能電池廠商在制造抗反射薄膜以及鈍化保護(hù)層時(shí)會(huì)產(chǎn)生一氧化二氮(N2O),目前臺(tái)灣當(dāng)局已計(jì)劃將此類氣體列入應(yīng)處理的廢氣專案,而UPTIMUM便是運(yùn)用成熟的燃燒/水洗技術(shù)來分解一氧化二氮之最佳方案,此建議并已獲臺(tái)灣一知名研究機(jī)構(gòu)認(rèn)同。除了UPTIMUM優(yōu)異的處理能力外,達(dá)思公司也透過低能源消耗、設(shè)備的高使用率、以及全年無休(24/7)的完善服務(wù)取得新客戶的最終信賴。
達(dá)思公司將于2012年9月5日至7日于臺(tái)北南港展覽館所舉行的”SEMICON Taiwan 2012國(guó)際半導(dǎo)體展”中展示相關(guān)解決方案。