半導(dǎo)體設(shè)備大廠應(yīng)材(APPLIED MATERIALS)2013年9月30日于第28界歐洲太陽(yáng)光電會(huì)議展暨展覽會(huì)推出新一代離子植入系統(tǒng),借由內(nèi)建圖形化工藝的執(zhí)行,減少降低良率的步驟,并且將每小時(shí)處理外延片拉升至3000片,有效降低生產(chǎn)成本,并且將太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率提高至22%以上。
應(yīng)材利用離子植入系統(tǒng)過(guò)去應(yīng)用在半導(dǎo)體的經(jīng)驗(yàn),將其導(dǎo)入太陽(yáng)能設(shè)備中,提高每小時(shí)外延片處理片數(shù)、降低生產(chǎn)成本,并且提升工藝良率,目前應(yīng)材在太陽(yáng)能離子植入系統(tǒng)市場(chǎng)市占率約85%-90%,應(yīng)材也選在第28屆歐洲太陽(yáng)能光電會(huì)議暨展覽會(huì)(28th European Solar Energy Conference and Exhibition)推出新一代離子植入系統(tǒng)Solion XP,搶攻太陽(yáng)能廠商新技術(shù)開(kāi)發(fā)商機(jī)。
應(yīng)材新一代離子植入系統(tǒng)Solion XP能執(zhí)行內(nèi)建的圖形化摻雜工藝,在生產(chǎn)過(guò)程中消除一些會(huì)降低良率的步驟,借此大量生產(chǎn)高校電池,并達(dá)到優(yōu)越的良率和降低成本的目標(biāo),Solion XP具備精密掃描架構(gòu)和可擴(kuò)展設(shè)計(jì)的支援功能,并且將每小時(shí)處理外延片數(shù)量由上一代的1100片的水準(zhǔn)拉升至3000片以上,有效將低生產(chǎn)成本。
應(yīng)材副總裁暨能源暨環(huán)保解決方案事業(yè)群太陽(yáng)能產(chǎn)品總經(jīng)理Jim Mullin指出,Solion XP能在相同或是低于傳統(tǒng)電池和組件成本下,達(dá)到電池轉(zhuǎn)換效率超越22%的表現(xiàn),Solion XP除了可以提升生產(chǎn)效率以外,同時(shí)可以進(jìn)行二維精密圖案N型電池工藝。
應(yīng)材指出,電池工藝商目前正由P型太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)為生產(chǎn)N型太陽(yáng)能電池,因?yàn)镹型太陽(yáng)能電池可以大幅提升電池轉(zhuǎn)換效率、組件功能輸出與能源采集量,整體每瓦成本和產(chǎn)品差異化更具競(jìng)爭(zhēng)力。而大量生產(chǎn)N型電池需要先進(jìn)技術(shù)能力,包括精密布圖和優(yōu)質(zhì)硼摻雜技術(shù),同時(shí)簡(jiǎn)化制造步驟與生產(chǎn)程序,Solion XP所具備的內(nèi)建圖案化功能將可精密控制摻雜物接面深度、劑量與硼和磷的配量,促使高效率的載子活化作用,降低N型基板上先進(jìn)電池結(jié)構(gòu)的整體熱積存。
應(yīng)材全球產(chǎn)品經(jīng)理Wesley Skinner預(yù)期,2015年太陽(yáng)能廠大舉擴(kuò)增資本支出的可能性較低,他透露,現(xiàn)階段太陽(yáng)能業(yè)者多在增加研發(fā)(R&D)資出,決定未來(lái)技術(shù)走向,著重于技術(shù)而非產(chǎn)能的提升,對(duì)于應(yīng)材而言,新技術(shù)的發(fā)展也為應(yīng)材新一代Solion XP帶來(lái)機(jī)會(huì),目前也與臺(tái)廠進(jìn)行接觸。